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原创 国产EUV光刻机,万众瞩目,成美国芯片禁令的破局点
尽管纳米压印(NIL)和电子束曝光(EBL)等技术在某些特定应用中显示出潜力,但在当前的芯片大规模制造中,光刻技术依然是主流。尤其是在高精度、大规模生产方面,光刻机扮演着无可替代的角色。
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